気体加熱装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-190158
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035724
出願日： 1994年07月21日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】気体を加熱することによって異物が発生することなく、クリーンルーム内でも良好に使うことができる気体加熱装置を提供するとを目的とする。【構成】ハロゲンヒータ1と、このハロゲンヒータ1に直接溶接され、かつ、その内部に気体加熱用の空間を有するように、ハロゲンヒータの発光部を取り囲んで構成され、さらに加熱すべき気体の導入口3、及び噴出口4を有する透明石英管2より構成されることを特徴とする。また、二次熱源として黒色塗装5を施すこともできる。

請求項（抜粋）：

ハロゲンヒータと、このハロゲンヒータに直接溶接され、かつ、その内部に気体加熱用の空間を有するように、ハロゲンヒータの発光部を取り囲んで構成され、さらに加熱すべき気体の導入口及び噴出口を有する透明石英管と、より構成される気体加熱装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

流体加熱器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-168738 出願人：株式会社小松製作所

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