反射型測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松井伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-348714
公開番号（公開出願番号）：特開平11-166888
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【目的】プリズムに対する入射角度と、試料(液晶)に対して照射させる偏光状態を簡単かつ正確に調整することができる反射型測定装置を提供すること【構成】セル10の窓板41は液晶40より屈折率の大きい材質から構成し、窓板の表面に液体44を介してプリズム35を配置する。各部材41,44,36の屈折率は同一にする。この状態でプリズムを介して液晶に光を照射することにより、液晶の界面の状態を測定する装置である。そして、プリズムとセルとをそれぞれ独立して保持するようにして図(A)に示すように、液体が介在しない分離状態をとることができ、そのプリズムの底面35cの全反射面を利用して光学系の調整を行う。液体を介在させた状態で図(C)のように矢印?@に移動させて液晶の界面で全反射するようにし、さらにセル10のみを矢印?Aのように回転することにより、液晶の主軸方位を合わせることができるようにした。

請求項（抜粋）：

セル内の試料に対して光を照射し、その試料で反射された反射光に基づいて前記試料の特性を測定する反射型測定装置であって、前記セルの窓板は前記試料より屈折率の大きい材質から構成するとともに、その窓板の表面に、その窓板と同一の屈折率からなり光の入出射面が平面状のプリズムを配置し、かつ、そのプリズムと前記窓板の接合面に前記屈折率と同一の屈折率を有する液体を介在させた状態で、前記プリズムを介して前記光を照射するようにした反射型測定装置において、前記プリズムを保持するプリズム保持手段と、前記セルを保持するセル保持手段と、前記プリズム及び前記セルを、前記接合面と直交する方向に移動させる移動手段とを設け、さらに前記プリズムと前記セルは、相対角度位置を変更可能としていることを特徴とする反射型測定装置。

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