特許

J-GLOBAL ID：200903015709422106

プローブカード

発明者： 浜口 博幸 ,  新井 治
出願人/特許権者： 日本電気株式会社 ,  エヌイーシーコンピュータテクノ株式会社
代理人 (3件)： 机 昌彦 ,  工藤 雅司 ,  谷澤 靖久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-094143
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275714
出願日： 2005年03月29日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】プローブカードは被検査体毎に個別のものを準備する必要があり、従来はプローブカード毎に設計を行い、またその製造に使用する治工具類も個別のものを準備する必要があったため、製造リードタイムが長く、コスト高となっていた。【解決手段】電源ネットワーク、スルーホールと簡単な内層信号を持つ基板(セラミック基板、シリコン基板、プリント基板)をベース基板として共通化して使用し、その上に被検査体毎の個別の薄膜配線層(2〜3層)を形成するという手法により、短い製造リードタイムで被検査体毎の個別のプローブカードを製造することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

プローブカードに共通するベース基板と、前記ベース基板上にあって、1以上の薄膜配線層からなり被検査体固有の検査情報を収集するための有機絶縁層と、を備えることを特徴とするプローブカード。

IPC (1件)：

G01R 1/073

FI (1件)：

G01R1/073 E

Fターム (4件)：

2G011AA16 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AE03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-117927   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社