特許
J-GLOBAL ID：200903015914498450
フォトレジストフィルム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-279696
公開番号（公開出願番号）：特開平11-102067
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 感度、解像度、密着性、耐エッチング性に非常に優れたフォトレジストフィルムを提供する。【解決手段】 支持体フィルム、感光性樹脂組成物層、保護フィルムからなるフォトレジストフィルムにおいて、支持体フィルムのヘイズ値が0.01〜1.5%であり、かつ、感光性樹脂組成物層が(a)カルボキシル基含有ポリマー、(b)エチレン性不飽和化合物、(c)光重合開始剤からなり、(c)として、(a)と(b)の総重量100重量部に対して(c-1)N-アリール-α-アミノ酸系化合物を0.01〜1.0重量部、(c-2)N,N′-テトラアルキル-4,4′-ジアミノベンゾフェノン系化合物を0.01〜0.5重量部、(c-3)ロフィン二量体を0.5〜6.0重量部、(c-4)下に示した化合物を0.1〜10重量部含有してなるフォトレジストフィルム。(式中、R1、R2は水素又はアルキル基で、それらは同一でも、互いに異なっていてもよい。)
請求項（抜粋）：
支持体フィルム(I)、感光性樹脂組成物層(II)、保護フィルム(III)からなるフォトレジストフィルムにおいて、支持体フィルム(I)のヘイズ値が0.01〜1.5%であり、かつ、感光性樹脂組成物層(II)が(a)カルボキシル基含有ポリマー、(b)エチレン性不飽和化合物、(c)光重合開始剤からなり、(c)光重合開始剤として、(a)と(b)の総重量100重量部に対して(c-1)N-アリール-α-アミノ酸系化合物を0.01〜1.0重量部、(c-2)N,N′-テトラアルキル-4,4′-ジアミノベンゾフェノン系化合物を0.01〜0.5重量部、(c-3)ロフィン二量体を0.5〜6.0重量部、(c-4)下記?@式で示される化合物を0.1〜10重量部含有してなることを特徴とするフォトレジストフィルム。【化1】(ここで、R1、R2は水素又はアルキル基で、それらは同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。)
IPC (5件)：
G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/031
, G03F 7/032 502
, H05K 3/06
G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/031
, G03F 7/032 502
, H05K 3/06 J
