特許

J-GLOBAL ID：200903015934880725

カーボンワイヤー発熱体封入ヒータ

発明者： 瀬古 順 ,  金 富雄 ,  永田 智浩 ,  斎藤 紀彦 ,  横山 秀幸 ,  小林 政和 ,  斎藤 孝規 ,  中尾 賢
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社 ,  東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-154101
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332373
出願日： 2000年05月25日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 通電発熱時の抵抗安定性、特にその経時的安定性に優れたカーボンワイヤー発熱体封入ヒータを提供する。【解決手段】 面間隔d(002)が0.343nm以下、かつ、結晶子の大きさLc(002)が4.0nm以上の結晶構造を有する炭素繊維を編紐あるいは組紐状に編み込んだカーボンワイヤーを発熱体とし、該発熱体を石英ガラス部材中に封入されている。

請求項（抜粋）：

面間隔d(002)が0.343nm以下、かつ、結晶子の大きさLc(002)が4.0nm以上の結晶構造を有する炭素繊維を編紐あるいは組紐状に編み込んだカーボンワイヤーを発熱体とし、該発熱体を石英ガラス部材中に封入したことを特徴とするカーボンワイヤー発熱体封入ヒータ。

IPC (8件)：

H05B 3/14 ,  D04B 21/20 ,  D04C 1/02 ,  D04C 1/06 ,  H01L 21/324 ,  H05B 3/02 ,  H05B 3/84 ,  H05B 3/44

FI (8件)：

H05B 3/14 G ,  D04B 21/20 A ,  D04C 1/02 ,  D04C 1/06 Z ,  H01L 21/324 K ,  H05B 3/02 A ,  H05B 3/44 ,  H05B 3/20 355 A

Fターム (36件)：

3K034AA05 ,  3K034AA09 ,  3K034AA12 ,  3K034AA22 ,  3K034AA25 ,  3K034BB05 ,  3K034BB14 ,  3K034BC17 ,  3K034GA03 ,  3K034GA10 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K092PP09 ,  3K092QA02 ,  3K092QA10 ,  3K092QB16 ,  3K092QB26 ,  3K092QB33 ,  3K092QC38 ,  3K092RA03 ,  3K092RD11 ,  3K092RF03 ,  3K092RF12 ,  3K092RF27 ,  3K092TT08 ,  3K092TT11 ,  3K092UB04 ,  3K092VV18 ,  4L002AA00 ,  4L002CA03 ,  4L002DA01 ,  4L002FA06 ,  4L046AA03 ,  4L046AA24 ,  4L046BA00 ,  4L046BB00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• カーボンヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-254513   出願人：東芝セラミックス株式会社, 東京エレクトロン株式会社