特許
J-GLOBAL ID：200903028692183450

カーボンヒータ

発明者：
外谷 栄一

外谷 栄一 について

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市島 雅彦

市島 雅彦 について

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金 富雄

金 富雄 について

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永田 智浩

永田 智浩 について

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山村 茂

山村 茂 について

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齋藤 紀彦

齋藤 紀彦 について

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寺岡 浩治

寺岡 浩治 について

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稲葉 毅

稲葉 毅 について

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本間 浩幸

本間 浩幸 について

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中尾 賢

中尾 賢 について

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斎藤 孝規

斎藤 孝規 について

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長内 長栄

長内 長栄 について

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牧谷 敏幸

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出願人/特許権者：
東芝セラミックス株式会社

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東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-254513
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021890
出願日： 1998年07月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】【解決手段】 直径が5〜15μmであるカーボンファイバーを複数本束ねたカーボンファイバー束を複数本用いてワイヤー形状やテープ形状のような縦長形状に編み込み,その含有不純物量を灰分で10ppm以下としたヒータ部材(11,111,121...161,212,222,411,515,612)を具備することを特徴とするカーボンヒータ。
請求項（抜粋）：
直径が5〜15μmであるカーボンファイバーを複数本束ねたカーボンファイバー束を複数本用いてワイヤー形状やテープ形状のような縦長形状に編み込み,その含有不純物量を灰分で10ppm以下としたヒータ部材(11,111,121...161,212,222,411,515,612)を具備するカーボンヒータ。
IPC (4件)：
H01L 21/324 ,  H05B 3/14 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/44
FI (4件)：
H01L 21/324 K ,  H05B 3/14 F ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/44
Fターム (22件)：
3K092PP20 ,  3K092QA02 ,  3K092QA05 ,  3K092QB16 ,  3K092QB26 ,  3K092QC02 ,  3K092QC42 ,  3K092QC43 ,  3K092QC63 ,  3K092QC64 ,  3K092RA03 ,  3K092RB14 ,  3K092RC04 ,  3K092RC26 ,  3K092RD08 ,  3K092RD11 ,  3K092RF04 ,  3K092RF12 ,  3K092RF19 ,  3K092TT19 ,  3K092VV15 ,  3K092VV22
引用特許：
審査官引用 (26件)
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