特許
J-GLOBAL ID：200903015985515207
レーザチャンバの処理方法及びレーザチャンバ
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328798
公開番号（公開出願番号）：特開2001-148526
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】 劣化部品の交換時において清掃工程を不要とし、容易、かつ短時間で実施可能であり、しかもコストダウンを図ることのできるレーザチャンバの処理方法及びレーザチャンバを提供する。【解決手段】 チャンバ本体の開口から閉塞手段を開放することにより、チャンバ本体内部に大気が流入し、レーザチャンバ内部に付着しているフッ化物と大気に含まれている水分とが結合して粉末状の物質(水和物)が発生したときに、その水和物を清掃により除去することなく、チャンバ本体の開口を閉塞手段により閉塞した場合には、上記水和物から結晶水を蒸発させるために、100°C以上の温度(好ましくは140°C以上の温度、より好ましくは約150°C前後の温度)でレーザチャンバをベーキングする。
請求項（抜粋）：
フッ素混合ガスが充填されるチャンバ本体と、該チャンバ本体に形成される開口を開閉可能に閉塞する閉塞手段と、該チャンバ本体内部に配置される放電電極とを有し、前記チャンバ本体の開口を前記閉塞手段により閉塞した状態で前記放電電極によって当該フッ素混合ガスを励起させることによりレーザ発振させるレーザチャンバの処理方法において、前記チャンバ本体の開口から前記閉塞手段を開放した後、当該開口を当該閉塞手段により閉塞した場合に、当該閉塞手段を開放した際に当該チャンバ本体内部に流入した大気の水分と当該チャンバ本体内部に付着しているフッ化物とが結合した物質から結晶水を蒸発させるべく所定の温度をもってベーキングする工程を含むことを特徴とするレーザチャンバの処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 Z
, H01S 3/223 E
5F071AA06
, 5F071CC01
, 5F071CC03
, 5F071DD08
, 5F071FF09
, 5F071HH09
, 5F071JJ08
, 5F071JJ10
