特許
J-GLOBAL ID:200903015999007220
結晶性透明導電性薄膜、その製造方法、透明導電性フィルムおよびタッチパネル
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
梶崎 弘一
, 尾崎 雄三
, 谷口 俊彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-021048
公開番号(公開出願番号):特開2007-200823
出願日: 2006年01月30日
公開日(公表日): 2007年08月09日
要約:
【課題】 高抵抗値を有し、かつ高温・高湿の環境下における信頼性の良好な結晶性透明導電性薄膜を提供すること。【解決手段】 酸化インジウムと酸化スズの合計に対して酸化スズを9重量%以下の割合で含有する酸化インジウム・スズを主成分としてなる結晶性透明導電性薄膜であって、当該結晶性透明導電性薄膜は、窒素を0.45原子%以下の割合で含有することを特徴とする結晶性透明導電性薄膜。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
酸化インジウムと酸化スズの合計に対して酸化スズを9重量%以下の割合で含有する酸化インジウム・スズを主成分としてなる結晶性透明導電性薄膜であって、
当該結晶性透明導電性薄膜は、窒素を0.45原子%以下の割合で含有することを特徴とする結晶性透明導電性薄膜。
IPC (2件):
FI (2件):
H01B5/14 A
, H01B13/00 503B
Fターム (7件):
5G307FA02
, 5G307FB01
, 5G307FC04
, 5G307FC06
, 5G323BA02
, 5G323BB04
, 5G323BB05
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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