特許
J-GLOBAL ID:200903016005770113

超高純度化の電解式オゾン発生装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 景山 憲二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-270461
公開番号(公開出願番号):特開平8-109489
出願日: 1994年10月07日
公開日(公表日): 1996年04月30日
要約:
【要約】【目的】 超高純度のオゾンガスを製造する。【構成】 本装置は、オゾンガスを発生させる電解式オゾン発生部1と、発生したガスを冷却する冷却器2と、冷却されたガス中のミストを除去するミストセパレータ3とを有する。【効果】 オゾン発生部で発生したガス中に含まれたミストには不純物を含むものがあるが、ガスが冷却器で冷却されると随伴した水蒸気がミストを核として凝縮しミストが大サイズ化し、冷却器を経てミストセパレータを通過すると略完全に除去され、不純物も略完全に除去される。
請求項(抜粋):
オゾンガスを発生させる電解式オゾン発生部と、該電解式オゾン発生部で発生したガスを冷却する冷却手段と、該冷却手段で冷却されたガス中のミストを除去するミストセパレータと、を有することを特徴とする電解式オゾン発生装置。
引用特許:
審査官引用 (3件)

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