特許

J-GLOBAL ID：200903016030055798

三次元断面加工観察装置

発明者： 野村 節生 ,  広瀬 博
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250346
公開番号（公開出願番号）：特開平8-115699
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】【構成】FIB断面加工観察装置1,複数枚の画像を格納する画像メモリ10,断面作成領域を一定の方向にずらしながら断面を作成するFIB制御手段によりなる。【効果】欠陥解析に最適な断面が高効率で得られるようになった。また、欠陥部の三次元構造が分かるようになった。

請求項（抜粋）：

集束イオンビームの走査により作成した検体の断面を走査形イオン顕微鏡像もしくは走査形電子顕微鏡像で観察出来るようにした集束イオンビーム断面加工観察装置において、前記断面に垂直な方向に任意の距離を離してシリーズに新しい断面を形成してゆく集束イオンビーム制御手段と,各断面の作成ごとに断面像を撮影する手段と,撮影した複数の該断面像を電気的に記憶する手段を有することを特徴とする三次元断面加工観察装置。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• FIB/EB複合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-118856   出願人：日本電子株式会社
• 特開平4-188553
  
• 特開平3-272554