特許
J-GLOBAL ID:200903016042110131

ワイヤソー用ワイヤの製造方法及びワイヤソー用ワイヤ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 好宮 幹夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-096167
公開番号(公開出願番号):特開平9-254145
出願日: 1996年03月26日
公開日(公表日): 1997年09月30日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 本発明は、例えば半導体インゴットからウェーハを切出すワイヤソー用ワイヤとして、切出したウェーハに金属汚染等の不具合を与えず、且つ引張り強度等の品質特性の良好なワイヤの製造を目的とする。【解決手段】 鉄又は鉄合金製の線材の表面に銅又は銅合金メッキ層a1 を形成してなる原線aを最終仕上げの伸線工程で引き伸ばして細線bを成形し、その後、細線bの表面の銅又は銅合金メッキ層b1 を酸処理液等の化学的研磨、又は研磨布等の物理的研磨、又は電解研磨、或いはこれらの組合わせによって剥離して剥離線cとし、この剥離線cをワイヤソー用ワイヤに使用する。
請求項(抜粋):
鉄又は鉄合金製の線材の表面に銅又は銅合金メッキ層を形成して最終仕上げの伸線を行った後、前記銅又は銅合金メッキ層を剥離することを特徴とするワイヤソー用ワイヤの製造方法。
IPC (2件):
B28D 5/04 ,  B24B 27/06
FI (2件):
B28D 5/04 C ,  B24B 27/06 E
引用特許:
審査官引用 (3件)

前のページに戻る