特許
J-GLOBAL ID：200903016061463061
光像形成方法及びその装置、画像形成装置並びにリソグラフィ用露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-148449
公開番号（公開出願番号）：特開平11-320968
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】 高画素密度の光像を形成することができるとともに、空間光変調器の各ミラーからの反射光を有効利用して各画素における照射光強度を高めることができる光像形成方法及びその装置、画像形成装置並びにリソグラフィ用露光装置を提供する。【解決手段】 光源1と、光源1からの光を反射する反射面の傾きを独立制御可能な複数のミラーからなるDMD2とを備え、DMD2からの反射光を、一方向に相対移動する対象物5に対して照射することにより、対象物5上に光像を形成する光像形成装置において、DMD2の各ミラーからの反射光像が、対象物5上において該相対移動の方向と直交する方向に一列に且つ該ミラーのピッチpよりも小さいピッチで並ぶように、DMD2の各ミラーを配列するとともに各ミラーの反射面の傾きを制御する制御装置4を設け、DMD2の各ミラーからの反射光を対象物5上に収束させる複数のレンズからなるマイクロレンズ3を設ける。
請求項（抜粋）：
反射面の傾きを独立制御可能な複数のミラーからなる空間光変調器に光源の光を照射し、該空間光変調器からの反射光を、一方向に相対移動する対象物に対して照射することにより、該対象物上に光像を形成する光像形成方法であって、該空間光変調器の各ミラーからの反射光像が、該対象物上において該相対移動の方向と直交する方向に一列に且つ該ミラーのピッチpよりも小さいピッチで並ぶように、該空間光変調器の各ミラーで光を反射し、該空間光変調器の各ミラーからの反射光を該対象物上に収束させることを特徴とする光像形成方法。
IPC (7件)：
B41J 2/445
, G02B 7/00
, G02B 7/198
, G02B 26/08
, G03B 27/32
, G03F 7/20 511
, H04N 1/04
B41J 3/21 V
, G02B 7/00 D
, G02B 26/08 E
, G03B 27/32 Z
, G03F 7/20 511
, G02B 7/18 B
, H04N 1/04 Z
