特許
J-GLOBAL ID：200903016101918601
セラミック多層基板の製造方法および製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-118407
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308583
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 圧着時のグリーンシート積層体の伸びおよび変形を低減することができ、寸法精度を向上することができるセラミック多層基板の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】 上平板40の下面部41には、グリーンシート積層体2の外周部よりも小さく、グリーンシート積層体2の製品となる部分の外周部21よりも大きい外縁部と内縁部とを有する外溝43が形成される。また、下面部41の外溝43の内側には、外溝43の内縁部よりも小さく、グリーンシート積層体2の製品となる部分の外周部21よりも大きい外縁部と内縁部とを有する内溝44が形成される。グリーンシート積層体2を圧着したとき、上平板40の外溝43および内溝44にグリーンシート積層体2の表面がくい込むことにより、グリーンシート積層体の伸びおよび変形を低減することができ、寸法精度を向上することができる。
請求項（抜粋）：
複数枚のグリーンシートを積層し、この積層したグリーンシート積層体を圧着し、焼成してなるセラミック多層基板を製造する方法であって、圧着時に、前記グリーンシート積層体の一方の面側に配した第1の平板と、前記グリーンシート積層体の他方の面側に配した第2の平板との少なくともいずれか一方に形成された溝により、前記グリーンシート積層体を拘束することを特徴とするセラミック多層基板の製造方法。
引用特許：
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