ビジュアル併用型基板検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳沢大作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-032610
公開番号（公開出願番号）：特開平9-203765
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】被検査基板のビジュアル的検査が可能な項目につき、検査の精度とスピードを上げる。【解決手段】被検査基板34における各部品の実装状態を画像カメラ20を用いてビジュアルテストにより外観的に検査する際、正規化相関の値を高めに設定して検査する外観検査手段56と、その外観検査の結果がNGである部分につき、プローブ22を用いて電気的特性を測定して検査をする電気的検査手段58と、それ等の外観的、電気的検査結果を出力する検査結果出力手段60とを備える。

請求項（抜粋）：

被検査基板における各部品の実装前或いは後の状態を画像カメラを用いてビジュアルテストにより外観的に検査する際、正規化相関の値を高めに設定して検査する外観検査手段と、その外観検査の結果がNGである各部分につき、プローブを用いて電気的特性を測定して検査をする電気的検査手段と、それ等の外観的、電気的検査結果を出力する検査結果出力手段とを備えることを特徴とするビジュアル併用型基板検査装置。

IPC (2件)：

G01R 31/02 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01R 31/02 , G01N 21/88 F

引用特許：

審査官引用 (12件)

実装部品の半田付け不良検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-269535 出願人：日置電機株式会社
アクティブマトリクス表示装置の検査装置及び検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-025760 出願人：シャープ株式会社
特開平4-286971

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