特許

J-GLOBAL ID：200903016151031896

液浸系顕微鏡対物レンズ用干渉計および液浸系顕微鏡対物レンズの評価方法

発明者： 海津 均 ,  山広 知彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256897
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071513
出願日： 2000年08月28日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】 液浸系顕微鏡対物レンズを定量的にかつ高精度に評価することができる液浸系顕微鏡対物レンズ用干渉計の提供。【解決手段】 平面12aと折返し球面12bとを有する半球平凸面レンズ12を対物レンズ10と対向するように配設する。このとき、平面12aと対物レンズ10との隙間に浸液15を充填し、かつ、平面12aと対物レンズ10の焦点位置を一致させるとともに、折返し球面12bの球心と焦点位置とを一致させるように配設する。参照平面板4で形成された被検波8は、対物レンズ10を透過した後に折返し球面12bで垂直反射されて光路を逆行する。光路を逆行した被検波8は参照波7と干渉し、その干渉縞がCCD撮像装置6により撮像される。この干渉縞の状態により、対物レンズ10の性能を評価することができる。

請求項（抜粋）：

参照波および被検波を形成して、前記被検波を液浸系顕微鏡対物レンズに入射させる第1の光学系と、折返し球面を有するとともに、前記対物レンズとの間に浸液を充填して対向配置され、前記対物レンズを透過して前記折返し球面で反射された被検波を出射する第2の光学系と、前記折返し球面で反射された被検波と前記参照波との干渉波を検出する検出器とを備え、前記検出器で検出された干渉波に基づいて前記対物レンズを評価することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ用干渉計。

IPC (4件)：

G01M 11/02 ,  G01B 9/02 ,  G02B 3/00 ,  G02B 21/02

FI (4件)：

G01M 11/02 B ,  G01B 9/02 ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 21/02 Z

Fターム (17件)：

2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064FF00 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG38 ,  2F064GG47 ,  2F064HH03 ,  2F064JJ01 ,  2F064KK01 ,  2G086HH06 ,  2H087KA12 ,  2H087LA21 ,  2H087NA00 ,  2H087PA01 ,  2H087PA17 ,  2H087PB01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 干渉計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-267813   出願人：ソニー株式会社
• シェアリング干渉方法およびラジアルシェア素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-213418   出願人：オリンパス光学工業株式会社