特許
J-GLOBAL ID：200903016164920894
液晶表示装置用アレイ基板及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
曾我 道照
, 曾我 道治
, 古川 秀利
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-314416
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212940
出願日： 2003年09月05日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】ゲート配線及びデータ配線を抵抗値が低く、化学的に耐蝕性が強い銅で形成する方法を提供する。【解決手段】本発明は液晶表示装置用アレイ基板の製造方法に係り、アレイ基板にゲート配線及びデータ配線を形成する時に、化学的に耐蝕性が強く、抵抗値が小さい金属物質を用いることによって、工程を単純化する方法に関するものである。本発明は前述したような金属物質として銅を利用することにより、銅とガラス基板との密着特性を改善している。さらに、銅がシリコン成分と反応することを防止するために、銅層の下部に銅化合物層をさらに形成した構成を有している。このような構成は、銅を配線として用いることを可能にし、特に銅でゲート配線を形成する場合には従来とは違って工程を単純化できる長所がある。【選択図】図4E
請求項（抜粋）：
基板と、
銅化合物と銅の二重層で構成された信号線を有した薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタと連結された画素電極と
を含むことを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2H092GA29
, 2H092JA26
, 2H092JA28
, 2H092JA46
, 2H092KA05
, 2H092KA12
, 2H092KB05
, 2H092KB24
, 2H092KB25
, 2H092MA04
, 2H092MA05
, 2H092MA12
, 2H092MA15
, 2H092MA17
, 2H092NA25
, 2H092NA27
, 2H092NA28
, 2H092NA29
