特許

J-GLOBAL ID：200903016186071327

走査型顕微鏡検査における照明用光源装置、及び走査型顕微鏡

発明者： ヨハン エンゲルハルト ,  ユルゲン ホフマン
出願人/特許権者： ライカ ミクロジュステムス ハイデルベルク ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 加藤 朝道 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-348265
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196252
出願日： 2001年11月14日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 安定的でかつ調節も容易であり、しかも低コストで高分解能を実現できる走査型顕微鏡検査における照明用光源装置及び走査型顕微鏡を提供すること。【解決手段】 走査型顕微鏡検査における照明用光源装置及び走査型顕微鏡は、a)1つの波長の光線(17)を発する電磁的エネルギー源(3)を有し、b)電磁的エネルギー源(3)に、光線(17)を空間的に分割して少なくとも2つの分割光線(19、21)を形成する手段(5)が後置されており、及びc)少なくとも1つの分割光線(21)に、波長を変化させるための中間素子(9)が配されている。

請求項（抜粋）：

a)1つの波長の光線(17)を発する電磁的エネルギー源(3)を有すること、b)該電磁的エネルギー源(3)には、前記光線(17)を空間的に分割して少なくとも2つの分割光線(19、21)を形成する手段(5)が後置されていること、及びc)少なくとも1つの分割光線(21)には、波長を変化させるための中間素子(9)が配されていることを特徴とする走査型顕微鏡検査における照明用光源装置。

Fターム (6件)：

2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC30 ,  2H052AC34

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 顕微鏡の観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-255444   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-302232   出願人：科学技術振興事業団, オリンパス光学工業株式会社