特許

J-GLOBAL ID：200903016212693692

イオン源装置

発明者： 三上 隆司 ,  桐村 浩哉 ,  岸田 茂明 ,  緒方 潔
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 藤田 龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-357861
公開番号（公開出願番号）：特開平10-188869
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：

【要約】【課題】 筐体の内壁への付着物の密着性を向上し、生成物の脱離を抑制する。【解決手段】 被プラズマ化材料をプラズマ化し、プラズマを生成する筐体1と、該プラズマよりイオンビームを引き出す電極系6とを備えたイオン源装置において、前記筐体1内にインナーチャンバ13を設け、前記インナーチャンバ13を加熱する加熱手段14を備える。

請求項（抜粋）：

被プラズマ化材料をプラズマ化し,プラズマを生成する筐体と、該プラズマよりイオンビームを引き出す電極系とを備えたイオン源装置において、前記筐体内にインナーチャンバを設け、前記インナーチャンバを加熱する加熱手段を備えたことを特徴とするイオン源装置。

IPC (3件)：

H01J 37/08 ,  H01J 27/08 ,  H01J 27/16

FI (3件)：

H01J 37/08 ,  H01J 27/08 ,  H01J 27/16

引用特許：

審査官引用 (3件)

• イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-058272   出願人：日新電機株式会社
• 特開平1-095454
  
• 特開平1-095454