ステージ装置、電子線照射装置及び露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：磯野道造 , 多田悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-332828
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142093
出願日： 2005年11月17日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】ステージの速度変化に伴う振動を低減することができるステージ装置、電子線照射装置及び露光装置を提供する。【解決手段】ガイドレール(105)に沿って移動するステージ(101)が駆動制御されるステージ装置であって、前記ステージ(101)が受ける摩擦力の変化に対応して変化し、前記ステージを駆動制御する制御量を前記ステージ(101)の位置及び速度の関数として記憶する補正テーブル(113a)を備え、前記ステージ(101)を駆動する駆動トルクを前記補正テーブル(113a)を用いて制御する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ガイドレールに沿って移動するステージが駆動制御されるステージ装置であって、前記ステージが受ける摩擦力の変化に対応して変化し、前記ステージを駆動制御する制御量を前記ステージの位置及び速度の関数として記憶する補正テーブルを備え、前記ステージを駆動する駆動トルクを前記補正テーブルを用いて制御することを特徴とするステージ装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , G21K 5/04 , G21K 5/00 , G03F 7/20 , H01L 21/68 , G05D 3/12

FI (8件)：

H01L21/30 516B , G21K5/04 E , G21K5/00 A , G03F7/20 504 , G03F7/20 521 , H01L21/30 541L , H01L21/68 K , G05D3/12 305L

Fターム (31件)：

2H097AA03 , 2H097AB05 , 2H097BA10 , 5F031CA02 , 5F031HA53 , 5F031JA06 , 5F031JA14 , 5F031JA17 , 5F031JA22 , 5F031JA31 , 5F031JA51 , 5F031KA06 , 5F031LA12 , 5F031MA27 , 5F031MA33 , 5F046CC01 , 5F046CC03 , 5F046CC18 , 5F056EA14 , 5H303AA06 , 5H303AA20 , 5H303BB02 , 5H303BB07 , 5H303BB12 , 5H303CC01 , 5H303CC07 , 5H303DD01 , 5H303GG13 , 5H303HH02 , 5H303JJ02 , 5H303KK29

引用特許：

出願人引用 (2件)

XYステージの制御方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-117871 出願人：ウシオ電機株式会社
特開平4-140805号公報(2ページ左欄下から15行目)

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