熱処理のモデル規範型予測制御

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三枝英二 (外10名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-527765
公開番号（公開出願番号）：特表2000-509171
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】非線形モデル規範型予測温度制御システム(100)は、熱処理反応器に使用するために記述される。多変数温度応答は、熱処理反応器の非線形パラメータ化モデルを用いて予測される。予測は、符号化予測限界を伴う自動回帰作動平均法でなされる。モデル予測は、最適化未来制御戦略を見積もるための制御法則に組み込まれている。コントローラ62の高速予測性能は、高速応答及び高温均一性が必要とされる多偏す急速熱処理反応器に有利である。

請求項（抜粋）：

加熱されるべき対象を囲む反応チャンバと、前記対象を加熱する熱エネルギ源と、前記対象の温度に関する温度の測定を行ない該温度を表示するインプットシグナルを発する熱センサと、前記温度を表示するアウトプットシグナルを受取り、該アウトプットシグナルに応答して前記熱エネルギ源を制御するモデル規範型予測式温度コントローラとを備えた温度制御付き熱処理反応器。

IPC (4件)：

G05D 23/19 , G05B 13/02 , G05B 13/04 , H01L 21/26

FI (4件)：

G05D 23/19 J , G05B 13/02 L , G05B 13/04 , H01L 21/26 T

引用特許：

審査官引用 (12件)

特表平3-500549
特公平7-086783
熱処理装置の温度制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-249920 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

全件表示

前のページに戻る