特許
J-GLOBAL ID：200903016221502883
マイクロ波集積回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-042924
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254661
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】 モノリシックマイクロ波集積回路におけるチップサイズの縮小をはかる。【構成】 半絶縁性半導体基板上に所定の幅に形成された中心ストリップ導体と、前記中心ストリップ導体の両側にこれと等間隔かつこれよりも厚く形成された接地導体とを具備し、前記接地導体厚によって所望の低インピーダンス値を有するインピーダンス線路が形成されてなることを特徴とするモノリシックマイクロ波集積回路。
請求項（抜粋）：
半絶縁性半導体基板上に所定の幅に形成された中心ストリップ導体と、前記中心ストリップ導体の両側にこれと間隔を置いてかつこれよりも厚く形成された接地導体とを具備し、前記接地導体厚によって所望のインピーダンス値を有するインピーダンス線路が形成されてなることを特徴とするマイクロ波集積回路。
IPC (2件)：
H01L 23/12 301
, G02B 6/12
