特許
J-GLOBAL ID:200903016256863200
半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加藤 朝道
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-061897
公開番号(公開出願番号):特開平10-242296
出願日: 1997年02月28日
公開日(公表日): 1998年09月11日
要約:
【要約】【課題】LSIのESD保護回路のレイアウト面積をESD保護の効果を減少せずに小さくする半導体装置の提供。【解決手投】ESD保護部のMOSトランジスタのドレイン上に、ゲート形成と同時に、面積は小さくなるが周囲長が長くなるような、ゲート電極と同じ材質のパターンを形成することにより、ドレインの拡散層容量を減少させることなく、ドレインの面積を減少させる。
請求項(抜粋):
入出力回路のESD保護部のトランジスタにおいて、ゲート形成と同時にドレイン上に、面積が小さく、周囲長が長くなるような、ゲート電極と同じ材質のパターンを形成した、ことを特徴とする半導体装置。
IPC (5件):
H01L 21/8238
, H01L 27/092
, H01L 27/04
, H01L 21/822
, H01L 29/78
FI (3件):
H01L 27/08 321 H
, H01L 27/04 H
, H01L 29/78 301 K
引用特許:
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