特許
J-GLOBAL ID：200903016300422658
表面形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350817
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198348
出願日： 1993年12月30日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】本発明は表面形状測定装置において、レジスト成分を含む被測定物の表面形状の測定を正確にし得る。【構成】レジスト成分を含む被測定物8上に照射する照射光の波長帯域を 475〜 560〔nm〕にとることにより、レジスト成分を含む部分での反射率強度が十分に得られるようになると共に、レジスト成分を含まない部分との反射率強度の差を減らすことができる。
請求項（抜粋）：
波長帯域 475〜560 〔nm〕の光を出射する照射光源と、上記照射光源から出射される光を被測定物上に輝線として集光するレンズ系と、上記被測定物上に集光された上記輝線の反射光を受光する受光手段と、上記受光手段の受光面上に上記被測定物上に集光された上記輝線の反射光を結像する結像レンズとを具えることを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01C 3/06
, H01S 3/109
