特許

J-GLOBAL ID：200903016311129979

部品保持具

発明者： 小森 敦 ,  八子 雄吾
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (1件)： 佐野 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-141761
公開番号（公開出願番号）：特開2005-327758
出願日： 2004年05月12日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：

【課題】 加工中又は搬送中には十分な保持力で部品を保持固定でき、完成後には部品を容易に取り外すことのできて、部品を破損させることのない、部品の加工及び搬送に使用する部品保持具を提供する。 【解決手段】 上面に粘着部12を有する粘着シート部材8と、該粘着シート部材8とベース部2に設けた凸状体3とによって形成される空隙部10に連通する通気孔7を備え、凸状体3の頂部と対応させた粘着シート部材8の上面部位には、弱い粘着力を有する弱粘着部又は非粘着部11を形成する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

上面に少なくとも一つの凸状体を有するベース部と、前記凸状体と隔ててその外側を囲う周壁部と、前記凸状体の頂部及び前記周壁部の頂部と下面で密着固定し、かつ上面に粘着部を有する粘着シート部材と、該粘着シート部材と前記ベース部及び前記周壁部によって形成される空隙部に連通する通気孔を備えた部品保持具であって、 前記凸状体の頂部と対応させた前記粘着シート部材の上面部位には、前記粘着部よりも弱い粘着力を有する弱粘着部又は非粘着部を形成されており、前記空隙部内の気体を前記通気孔を介して外部から吸引することで、前記粘着シート部材の前記空隙部に対応する部位が前記ベース部の下面側に弾性変形するようにしたことを特徴とする部品保持具。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  B65D85/86

FI (3件)：

H01L21/68 N ,  H01L21/68 U ,  B65D85/38 J

Fターム (47件)：

3E096AA06 ,  3E096AA09 ,  3E096AA15 ,  3E096BA08 ,  3E096BA09 ,  3E096BB05 ,  3E096CA06 ,  3E096CB02 ,  3E096DA01 ,  3E096DA04 ,  3E096DA05 ,  3E096DA23 ,  3E096DB02 ,  3E096DB08 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA06X ,  3E096EA06Y ,  3E096EA07X ,  3E096EA07Y ,  3E096EA10X ,  3E096EA10Y ,  3E096EA11X ,  3E096EA11Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA11 ,  3E096FA15 ,  3E096FA16 ,  3E096FA19 ,  3E096FA26 ,  3E096FA27 ,  3E096FA31 ,  3E096GA05 ,  3E096GA11 ,  5F031CA02 ,  5F031CA09 ,  5F031CA17 ,  5F031DA05 ,  5F031DA15 ,  5F031EA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA05 ,  5F031HA08 ,  5F031HA78 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 基板保持チャックとその製造方法、露光方法、半導体装置の製造方法及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-093308   出願人：ホーヤ株式会社
• 特公平07-093247号公報