特許
J-GLOBAL ID：200903016359522001
マイクロメカニカル共振装置及びそれを使用するマイクロメカニカル装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (9件)：
中村 稔
, 大塚 文昭
, 熊倉 禎男
, 宍戸 嘉一
, 今城 俊夫
, 小川 信夫
, 村社 厚夫
, 西島 孝喜
, 箱田 篤
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-522062
公開番号（公開出願番号）：特表2004-507921
出願日： 2001年08月24日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
半径方向又は横方向に振動するディスク構造体をベースとしそしてGHzレンジを充分に越える周波数で振動できるマイクロメカニカル共振器及びそれを使用したマイクロメカニカル装置を開示する。ディスクの中心は、節点であり、従って、ディスク型共振器がその中心で支持されたときは、基体へのアンカー消散が最小にされ、この設計は、高い周波数で高いQを保持することができる。更に、この設計は、高い周波数において高いスチフネスを保持し、従って、ダイナミックレンジを最大にする。更に、このディスク型共振器の側壁表面積は、従来の撓みモード共振器設計で得られるものよりしばしば大きく、このディスク設計は、所与の周波数において容量性(又は静電気)変換を使用するときはその対応部分より小さな直列運動抵抗を達成することができる。この設計では、容量性検出が必要とされず、そして圧電、磁気歪等の検出も可能である。この共振器で達成できる周波数及びダイナミックレンジは、種々様々な通信システムにおける高QのRFフィルタ及び発振器用途に共振器を適用できるようにする。又、そのサイズにより、共振器は、ポータブル、ワイヤレス用途に特に適したものとなり、そしてこの共振器は、もし多数が使用された場合には、消費電力を著しく下げ、頑丈さを高め、そして高性能ワイヤレストランシーバの適用範囲を拡張する。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのモード形状を有するマイクロメカニカル共振装置において、
基体と、この基体上に配置されそして少なくとも1つの節点を有するディスク形状の共振器とを備えた装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用文献：
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