特許
J-GLOBAL ID：200903016385239172
圧電基板の材料定数測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-316655
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124844
出願日： 2000年10月17日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：
【要約】【課題】 圧電単結晶体の均一性評価を正確に、かつ短時間のうちに実施するべく、圧電基板の材料定数を測定するための装置を提供する。【解決手段】 圧電基板Pの表裏両側に個々に配設された2つの測定プローブ12,13と、これら測定プローブ12,13を圧電基板Pを挟んで接近離間可能に支持するプローブ支持機構14とを備える圧電基板Pの材料定数測定装置において、測定プローブ12,13の測定電極12a,13aの周囲に、圧電基板Pに当接する吸収リング20を設ける。これにより、測定電極12a,13aが当接する個所以外の部位で生じた共振信号やノイズが吸収リング20によって吸収されるので、余計な共振信号やノイズが測定プローブ12,13に検出され難くなる。
請求項（抜粋）：
圧電単結晶体から切り出した圧電基板の表裏両側に個々に配設された2つの測定プローブと、該測定プローブを前記圧電基板を挟んで接近離間可能に支持するプローブ支持手段とを備える圧電基板の材料定数測定装置であって、前記測定プローブの測定電極の周囲に、前記圧電基板に当接する弾性体が設けられていることを特徴とする圧電基板の材料定数測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 3/02 A
, H01L 41/22 A
