特許
J-GLOBAL ID:200903016403621578
半導体発光素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-299644
公開番号(公開出願番号):特開2001-119105
出願日: 1999年10月21日
公開日(公表日): 2001年04月27日
要約:
【要約】【課題】 III族窒化物半導体におけるp型層の低抵抗化、c軸配向性分布の改善を行い、発光素子の信頼性を向上させる。【解決手段】 p型層にはSiが1×1016cm-3以上1×1018cm-3未満含有されている。これによりp型層の抵抗率は、Siが実質的に含有されていない場合に比べて40〜90%に低減する。また、サファイア基板面上にSiを含有するGaN層を隣接させると、Siが実質的に含有されていない場合に比べてGaN層のc軸配向性の分布は狭くなる。
請求項(抜粋):
少なくともIII族元素およびNを含有するp型伝導層に、ドナー性不純物が1×1016cm-3以上1×1018cm-3未満含有されていることを特徴とする半導体発光素子。
Fターム (14件):
5F073AA13
, 5F073AA45
, 5F073AA51
, 5F073AA55
, 5F073AA74
, 5F073AA77
, 5F073CA07
, 5F073CB02
, 5F073CB05
, 5F073CB07
, 5F073CB19
, 5F073DA05
, 5F073DA24
, 5F073EA28
引用特許:
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