特許
J-GLOBAL ID：200903016436108388
原子間力顕微鏡一体型フォトン走査型トンネル顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312547
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160719
出願日： 1992年11月24日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 観察試料の同一点の表面凹凸像情報と光学的情報を同時に得る。【構成】 可撓性、光透過性のプレートの先端部に光透過可能な針状チップを有し、該チップ以外の領域の裏面に反射膜を形成したカンチレバー(3) 、カンチレバー駆動手段(12)、駆動手段(12)の制御手段(11)、反射膜に光を斜入射可能な位置にあるカンチレバーの撓み量測定用光源(7) 、光源(7) からの光の反射光受光手段(8) 、試料(2) の表面に前記チップが近接可能な試料台(1) 、試料(2)の裏面から光照射可能な位置にあるエバネセント波検出用光源(6) 、前記チップが形成されている前記プレートの上面の位置にあり、前記プレートの上面から近接した光検出手段(4) ,(5) 及び制御手段(11)の信号の信号処理手段(10)からなり、前記チップと光源(6) からの光のスポットが試料(2) 上で同一位置にあることを特徴とする顕微鏡。
請求項（抜粋）：
可撓性かつ光透過性でありプレート状の形状をとり、該プレートの一先端部に光透過可能な針状ティップを有し、該針状ティップ以外の領域の裏面に反射膜を形成したカンチレバー、該カンチレバー駆動手段、該カンチレバー駆動手段の制御手段、前記反射膜に光を斜入射可能な位置にある前記カンチレバーの撓み量測定用光源、該光源からの光の反射光受光手段、前記試料表面に前記カンチレバーの先端部の針状ティップが近接可能でありプリズムからなる試料台、 前記試料の裏面から前記試料に光を照射可能な位置にあるエバネセント波検出用光源、前記カンチレバーの針状ティップが形成されている前記プレートの上面の位置にあり、前記プレートの上面に近接して設置された光検出手段、前記光検出手段及び前記制御手段からの信号の信号処理手段からなり、前記針状ティップと前記エバネセント波検出用光源からの照射光のスポットが前記試料上で同一の位置にあることを特徴とする顕微鏡。
IPC (2件)：
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