特許

J-GLOBAL ID：200903016465385862

静電チャック

発明者： 遠藤 民夫
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107364
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302678
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 処理中に被処理体の温度分布が不均一になるのを防止する。【構成】 上下両側から絶縁体16、17によって挟持される導電層15において、その周辺部から絶縁体16表面までの距離を、中央部から絶縁体16表面までの距離よりも短くし、高圧直流電源18からの印加によって生ずる静電吸着力を周辺部の方をより強くする。【効果】 周辺部における熱伝達率が改善され、温度分布が均一化される。

請求項（抜粋）：

導電体の上下面に絶縁体を有し、当該導電体に電圧が印加された際に発生する静電気力によって自体の上面に載置される被処理体を吸着保持する如く構成された静電チャックにおいて、周辺部における導電体から上記上側の絶縁体の表面までの距離を、中央部における導電体から上記上側の絶縁体の表面までの距離よりも短くしたことを特徴とする、静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00 ,  H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-030268   出願人：富士通株式会社