カソード電極装置及びスパッタリング装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：石島茂男 (外1名) , 石島茂男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-155893
公開番号（公開出願番号）：特開2000-345337
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】マグネトロンスパッタ装置に用いられるターゲットの使用効率を高める技術を提供する。【解決手段】本発明のカソード電極装置4は、筒状の磁束吸収装置16を有しており、ターゲット11や第1、第2の磁石12、13を取り囲むように配置されている。磁束吸収装置16によって、従来放散されていた磁束が吸収され、第1の磁石12と磁束吸収装置16との間に新たな磁気回路が形成されることにより、ターゲット11表面で効率良くスパッタリングされる領域が拡大し、合計2ヶ所にエロージョン21、22が生じるので、1箇所のみで集中的にターゲット材料が減り、エロージョンのみが生じていた従来に比して、ターゲットの減りを均一にすることができるので、ターゲットの使用効率を高め、実用寿命を長くすることが可能になる。

請求項（抜粋）：

ターゲットと、前記ターゲットの裏面に配置された磁石とを有するカソード電極装置であって、前記ターゲット及び前記磁石の近傍であって、前記磁石の生成する磁界中に、強磁性体で構成された磁束吸収装置が配置されたことを特徴とするカソード電極装置。

IPC (2件)：

C23C 14/35 , H01L 21/203

FI (2件)：

C23C 14/35 C , H01L 21/203 S

Fターム (5件)：

4K029DC43 , 5F103AA08 , 5F103BB14 , 5F103BB22 , 5F103RR08

引用特許：

出願人引用 (7件)

高周波マグネトロンプラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-282723 出願人：アルプス電気株式会社, 大見忠弘
特開昭64-068473
特開昭61-161704

全件表示

審査官引用 (7件)

高周波マグネトロンプラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-282723 出願人：アルプス電気株式会社, 大見忠弘
特開昭64-068473
特開昭61-161704

全件表示

前のページに戻る