特許
J-GLOBAL ID:200903016627534247
バリアフィルム及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-260631
公開番号(公開出願番号):特開2006-076051
出願日: 2004年09月08日
公開日(公表日): 2006年03月23日
要約:
【課題】本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、水蒸気透過率が5×10-3g/m2/day以下及び/又は酸素透過率が5×10-3cc/m2/day以下、さらには、EL基板に求められる水蒸気透過率1×10-6g/m2/day以下、酸素透過率1×10-3cc/m2/day以下のバリアフィルムを安価に提供するものである。【解決手段】樹脂フィルムの両面に、5nm〜100nm厚の酸化珪素膜からなるバリア層と、さらにその外側に0.1〜3μm厚のアクリレート又はメタクリレート膜からなる保護層とを設けた両面に単膜のバリア層を形成した構造のバリアフィルムであって、バリア層及び保護層が真空成膜により形成されたバリアフィルムの水蒸気透過率が5×10-3g/m2/day以下及び/又は酸素透過率が5×10-3cc/m2/day以下となるバリアフィルムである。【選択図】図1
請求項(抜粋):
樹脂フィルムの両面にバリア層が形成されたバリアフィルムであって、該バリアフィルムの水蒸気透過率が5×10-3g/m2/day以下及び/又は酸素透過率が5×10-3cc/m2/day以下であることを特徴とするバリアフィルム。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (54件):
4F100AA02A
, 4F100AA02C
, 4F100AA12A
, 4F100AA12C
, 4F100AA13A
, 4F100AA13C
, 4F100AA19A
, 4F100AA19C
, 4F100AA20A
, 4F100AA20C
, 4F100AK01B
, 4F100AK25D
, 4F100AK25E
, 4F100AK54
, 4F100AK55
, 4F100AL01
, 4F100AR00A
, 4F100AR00C
, 4F100AT00D
, 4F100AT00E
, 4F100BA03
, 4F100BA05
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100BA10D
, 4F100BA10E
, 4F100EJ24A
, 4F100EJ24C
, 4F100EJ61
, 4F100GB43
, 4F100JD02A
, 4F100JD02C
, 4F100JD03A
, 4F100JD03C
, 4F100JD04A
, 4F100JD04C
, 4F100JN01B
, 4F100YY00A
, 4F100YY00B
, 4F100YY00C
, 4F100YY00D
, 4F100YY00E
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030AA14
, 4K030BA44
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030DA08
, 4K030FA01
, 4K030HA03
, 4K030HA04
, 4K030JA01
, 4K030LA11
引用特許: