特許
J-GLOBAL ID：200903016631881423

溝測定装置、穴測定装置および溝測定方法

発明者：
佐々木 宏明

佐々木 宏明 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 石黒 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-150173
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337860
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 溝幅が0.2mm以下の微小な凹溝の溝幅の差を非接触で測定することができる溝測定装置の提供。【解決手段】 溝測定装置Bは、X軸方向に変位可能なXYテーブル1と、凹溝21の形成方向とX軸方向とが直交する様にXYテーブル1に載置される部品2と、垂線12とセンサ軸線411との成す角度が±θ(例えば30°)となる位置に配されるセンサ40、41を有し、センサ40、41から凹溝21の内壁面211までの距離に対応したレベルの電気信号を出力する距離検出手段4と、XYテーブル1をX軸方向に変位させるための平面テーブル駆動手段と、XYテーブル1のX軸変位量を検出するXYテーブル変位量検出手段6と、XYテーブル1のX軸変位に伴う電気信号のレベル変化を各θ毎に解析する解析手段7とを備え、解析手段7の解析結果に基づいて、部品表面から所定の深さにおける、凹溝21の溝幅や異なる凹溝における溝幅の差を求める。
請求項（抜粋）：
X軸方向に変位可能な平面テーブルと、上面に直線状の凹溝が一つ以上形成されるとともに、該凹溝の形成方向とX軸方向とが直交する様に前記平面テーブルに載置される部品と、該部品の上方に位置する円弧状テーブルと、前記円弧状テーブルの回動部に下方を向く様にセンサを配し、前記凹溝の内壁面までの距離に対応したレベルの電気信号を出力する距離検出手段と、前記平面テーブルをX軸方向に変位させるための平面テーブル駆動手段と、前記平面テーブルの上面に直交する垂線とセンサ軸線との成す角度が-θおよび+θとなる位置に前記センサを回動させるための円弧状テーブル駆動手段と、前記平面テーブルのX軸変位に伴う前記電気信号のレベル変化を各θ毎に解析する解析手段とを備え、該解析手段の解析結果に基づいて、部品表面から所定の深さにおける、前記凹溝の溝幅や異なる凹溝における溝幅の差を求める溝測定装置。
IPC (3件)：
G01B 21/16 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/14
FI (3件)：
G01B 21/16 ,  G01B 21/00 L ,  G01B 21/14
Fターム (12件)：
2F069AA40 ,  2F069AA49 ,  2F069BB38 ,  2F069CC10 ,  2F069DD20 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069HH09 ,  2F069MM04 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34 ,  2F069PP02
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開昭57-084302
  • 特開平2-157606
  • 三次元形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-040736   出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (3件)
  • 特開昭57-084302
  • 特開平2-157606
  • 三次元形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-040736   出願人：株式会社ニコン

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