特許
J-GLOBAL ID：200903016634053831
エッチング方法およびエッチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-293919
公開番号（公開出願番号）：特開2008-147637
出願日： 2007年11月13日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：
【課題】長期にわたり、高い精度で均一なエッチングができるエッチング方法およびエッチング装置を提供することを目的とする。【解決手段】エッチング液12を保持するエッチング槽10にディフューザ20の本体21を配置し、湿った気体から気泡を発生させて曝気攪拌を行う。例えば、コンプレッサ31により圧縮され除湿された空気を、加湿槽33内の水中を通過させて湿らせてディフューザ20の気体供給管22に供給する。ディフューザ20の本体21の小孔を通る気体は湿潤であり小孔の内壁の乾燥を防止するので、スケール付着による小孔の閉塞が防止され、ディフューザ20から長期にわたり均一に気泡が発生される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
エッチング槽内のエッチング液に被処理部材を浸漬してエッチングするエッチング方法であって、
含湿気体から気泡を発生させることにより前記エッチング液を曝気攪拌するエッチング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/306 J
, G02F1/1333 500
2H090JB02
, 2H090JC06
, 2H090JD14
, 2H090JD15
, 5F043AA01
, 5F043AA40
, 5F043BB01
, 5F043BB15
, 5F043BB22
, 5F043EE03
, 5F043EE06
, 5F043EE21
, 5F043FF07
, 5F043GG10
