特許
J-GLOBAL ID：200903087653065101

薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ用ガラスの自動エッチング装置

発明者：
ノ スン ミン

ノ スン ミン について


出願人/特許権者：
システム テクノロジー インコーポレイティッド

システム テクノロジー インコーポレイティッド について


代理人 (1件)： 新井 信昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-327463
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147474
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ用ガラスの表面を均一にエッチングできる自動エッチング装置を提供する。【解決手段】 エッチング溶液を貯溜するエッチング溶液槽(1)と、エッチング後に洗浄するための洗浄装置(2)と、洗浄後に乾燥するための乾燥装置(3)と、を備える薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ用ガラスの自動エッチング装置の前記エッチング溶液槽(1)の底部に気泡発生装置(50,60)を備えさせ、当該気泡発生装置(50,60)から発生した気泡によって前記エッチング溶液を撹拌してガラス表面を均一にエッチングするように構成する。
請求項（抜粋）：
エッチング溶液を貯溜するエッチング溶液槽と、エッチング後に洗浄するための洗浄装置と、洗浄後に乾燥するための乾燥装置と、を備える薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ用ガラスの自動エッチング装置において、前記エッチング溶液槽は、その底部に気泡発生装置を備え、当該気泡発生装置から発生した気泡によって前記エッチング溶液を撹拌するように構成されていることを特徴とする薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ用ガラスの自動エッチング装置。
IPC (4件)：
G02F 1/1333 500 ,  C03C 15/00 ,  C09K 13/04 ,  C23F 1/08
FI (4件)：
G02F 1/1333 500 ,  C03C 15/00 C ,  C09K 13/04 ,  C23F 1/08
Fターム (13件)：
2H090JB02 ,  2H090JC01 ,  4G059AA06 ,  4G059BB04 ,  4K057WA02 ,  4K057WA18 ,  4K057WE07 ,  4K057WG03 ,  4K057WM03 ,  4K057WM14 ,  4K057WM15 ,  4K057WM20 ,  4K057WN01
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM