基板搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-109515
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321179
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】搬送対象とする基板の搬送経路を短縮し、基板交換を高速に行う。【構成】レチクルライブラリー4から多軸ロボットハンド6により取り出したレチクルを一時保管棚13の待機面16a上の基板支持ピン17上に載置する。このレチクルの下で回転アーム18のアーム23A,23Bを閉じ、レチクルステージ25上のレチクルの下でもアーム24A,24Bを閉じてから、Z軸スライダ20を上昇させて回転部21を180°回転させる。その後、Z軸スライダ20を下降させて、レチクルステージ25及び基板支持ピン17上にそれぞれレチクルを載置する。

請求項（抜粋）：

マスク等の処理対象とする基板を、該基板が処理される基板ステージ上に設置すると共に、処理後の基板を前記基板ステージから搬出する装置において、基板を一時的に保管すると共に、前記基板ステージの表面に交差する方向に移動自在に支持された一時保管部と;基板を吸着保持する基板保持部と、該基板保持部を回転させると共に前記基板ステージの表面に交差する方向に移動させる回転上下部とを有する回転アーム部と;を有し、前記回転アーム部を介して前記一時保管部と前記基板ステージとの間で基板の受渡しを行うことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 514 D

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-208452
特開平1-251734
特開平4-199654

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