特許
J-GLOBAL ID:200903016710856230

3次元形状測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 川野 宏 ,  緒方 保人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-283803
公開番号(公開出願番号):特開2007-093412
出願日: 2005年09月29日
公開日(公表日): 2007年04月12日
要約:
【課題】被測定面の形状変化が大きいような場合でも、三角測量の原理に基づき、被測定面の3次元形状を高精度に求めることが可能な3次元形状測定装置を得る。【解決手段】被測定面7に輝線を投影、走査する投影走査系2と、被測定面7に投影されて変形した輝線を互いに異なる方向から撮像する第1および第2の撮像系3,4と、輝線の投影方向を検出する投影方向検出手段5とを備えることにより、第1の3次元座標取得部61によって得られたステレオ法による3次元座標データに基づく形状解析と、第2の3次元座標取得手段によって得られた光切断法による3次元座標データに基づく形状解析とを、適宜組み合わせて実施できるようにする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
被測定面に測定用パターンを投影、走査する投影走査系と、 前記被測定面に投影、走査された前記測定用パターンを互いに異なる方向から撮像する第1および第2の撮像系と、 前記測定用パターンの投影方向を検出する投影方向検出手段と、 前記第1の撮像系により撮像された画像上における前記測定用パターンの座標と、該第1の撮像系と同じタイミングで前記第2の撮像系により撮像された画像上における前記測定用パターンの座標との対応関係、および前記第1および第2の撮像系の間に設定された第1基線長に基づき、前記測定用パターンが投影された位置における前記被測定面の3次元座標を求める第1の3次元座標取得手段と、 前記第1の撮像系により撮像された画像上における前記測定用パターンの座標と、該第1の撮像系と前記投影走査系との間に設定された第2基線長と、前記投影方向とに基づき、および/または、前記第2の撮像系により撮像された画像上における前記測定用パターンの座標と、該第2の撮像系と前記投影走査系との間に設定された第3基線長と、前記投影方向とに基づき、前記測定用パターンが投影された位置における前記被測定面の3次元座標を求める第2の3次元座標取得手段と、 前記測定用パターンが前記被測定面を走査する過程において、前記第1および第2の3次元座標取得手段によりそれぞれ求められた3次元座標データを、適宜組み合わせて前記被測定面の3次元形状を求める3次元形状解析手段と、 を備えてなることを特徴とする3次元形状測定装置。
IPC (1件):
G01B 11/24
FI (1件):
G01B11/24 A
Fターム (17件):
2F065AA04 ,  2F065AA31 ,  2F065AA53 ,  2F065FF04 ,  2F065FF05 ,  2F065GG06 ,  2F065HH05 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL11 ,  2F065LL13 ,  2F065MM11 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ31
引用特許:
出願人引用 (2件)

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