特許

J-GLOBAL ID：200903016712603762

微小高さ測定装置及び変位計ユニット

発明者： 水村 通伸 ,  滝本 政美
出願人/特許権者： 株式会社ブイ・テクノロジー
代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-032830
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212305
出願日： 2006年02月09日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：

【課題】被測定物上に測定点を指定してその測定点の高さを高速で測定する。【解決手段】光源2からの光ビームが被測定物1方向に反射するように選択されて個別に傾く複数のマイクロミラーをマトリクス状に配列した測定点選択手段3と、被測定物1方向に反射された光ビームに含まれる高次回折光を処理する高次回折光処理手段4と、被測定物1上に指定された測定点で反射されて戻る光ビームを選択されたマイクロミラーを介して検出する光検出手段6と、被測定物1を対物レンズ5に対して相対的にその光軸方向に変位させ、その変位量を検出して出力する変位手段7と、光検出手段6で検出された光の輝度及び変位手段7より入力した変位量のデータから最大輝度値を示す変位量を被測定物1の上記測定点の高さとして求める制御手段8とを備えたものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光ビームを放射する光源と、 前記光源からの光ビームが被測定物方向に反射するように個別に傾く複数のマイクロミラーをマトリクス状に配列した測定点選択手段と、 前記測定点選択手段の前記被測定物側の近傍に配設され、前記測定点選択手段により被測定物方向に反射された光ビームに含まれる高次回折光を処理する高次回折光処理手段と、 前記測定点選択手段で反射された光ビームを被測定物上に集光する対物レンズと、 前記測定点選択手段の複数のマイクロミラーのうち選択されたマイクロミラーで反射されて前記被測定物上に指定された測定点に集光し、そこで反射されて戻る光ビームを前記選択されたマイクロミラーを介して検出する光検出手段と、 前記被測定物を前記対物レンズに対して相対的にその光軸方向に変位させると共にその変位量を検出して出力する変位手段と、 前記測定点選択手段の各マイクロミラーを駆動制御し、前記変位手段の変位を制御すると共に、前記光検出手段で検出された光の輝度及び前記変位手段より入力した変位量のデータから最大輝度値を示す変位量を被測定物の前記測定点の高さとして求める制御手段と、 を備えたことを特徴とする微小高さ測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/00

FI (1件)：

G01B11/00 B

Fターム (17件)：

2F065AA06 ,  2F065AA24 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ17 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL18 ,  2F065NN00 ,  2F065UU03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• レーザ走査式高さ測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-277942   出願人：オムロン株式会社
• 共焦点光スキャナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-135591   出願人：独立行政法人理化学研究所