特許
J-GLOBAL ID：200903016725880188
真空処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-326221
公開番号（公開出願番号）：特開平8-172034
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 真空処理室や容器載置室の配置のレイアウトの自由度を向上させるとともに、装置のメンテナンス効率を向上させる真空処理装置を提供する。【構成】 減圧雰囲気とされる気密構造の搬送室2と、この搬送室2に搬出入口を介して気密に接続された予備真空室3A,3Bと、搬送室2に搬出入口を介して気密に接続された複数の真空処理室4A〜4Cと、搬送室2内に設けられると共に各々独立して水平方向に回動される少なくとも3本の搬送アームを備え、予備真空室3A,3B及び真空処理室4A〜4C間で被処理体Wを搬送するための搬送手段5とを備えた真空処理装置であって、この真空処理装置は、クリーンルーム内に配置され、真空処理装置が配置される最もクリーン度の高い筐体面側に設けられた、真空処理装置を制御する制御板等を具備する。
請求項（抜粋）：
減圧雰囲気とされる気密構造の搬送室と、この搬送室に搬出入口を介して気密に接続された予備真空室と、前記搬送室に搬出入口を介して気密に接続された複数の真空処理室と、前記搬送室内に設けられると共に各々独立して水平方向に回動される少なくとも3本の搬送アームを備え、前記予備真空室及び真空処理室間で被処理体を搬送するための搬送手段とを備えた真空処理装置であって、この真空処理装置は、クリーンルーム内に配置され、前記真空処理装置が配置される最もクリーン度の高い筐体面側に設けられた、前記真空処理装置を制御する制御板と、この制御板に設けられ、ICカードの情報を読み込むための読込媒体器と、前記制御板側に設けられた演算処理部とを具備し、前記ICカードに蓄積されたプログラムにより、前記演算処理部を駆動して前記真空処理装置を制御することを特徴とする真空処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
, H01L 21/68
