特許
J-GLOBAL ID：200903016732995675
外観検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-050051
公開番号（公開出願番号）：特開2005-241370
出願日： 2004年02月25日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】 ガラス基板等の被検査物のむらを顕在化させて撮像し、モニタ表示することにより、定量的な評価をし易くし、そのデータの蓄積と別の媒体への出力を可能にした外観検査方法及び外観検査装置を提供する。【解決手段】 被検査物表面に、拡散光と指向性のある平行光を切り換えて照射し、それぞれの照明に応じてその反射光を撮像し、その画像は画像処理部を介してモニタ出力表示し、その画像から顕在化されたむらを目視検出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された膜面に、散乱光または平行光を照射し、該形成された膜の塗布欠陥を散乱光または平行光による反射輝度レベルの差として検出し、塗布欠陥を検出することを特徴とする外観検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/84 D
, G02F1/13 101
2G051AA90
, 2G051AB07
, 2G051AB12
, 2G051CA04
, 2G051CA11
, 2G051CB01
, 2G051CB08
, 2H088FA11
, 2H088FA30
, 2H088HA04
, 2H088MA16
