特許

J-GLOBAL ID：200903016739253887

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 渋井 智史
出願人/特許権者： 旭化成エレクトロニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-141294
公開番号（公開出願番号）：特開2008-298810
出願日： 2007年05月29日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：

【課題】感度、解像度にすぐれるポジ型感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(A)下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミド100質量部に対して、(B)光酸発生剤1〜50質量部、(C)芳香族カルボン酸化合物0.01〜70質量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミド100質量部に対して、(B)光酸発生剤1〜50質量部、(C)炭素原子数7〜15の芳香族カルボン酸化合物0.01〜70質量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (14件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  2H025CC06 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特公平1-46862号公報
  
• 特開昭63-96162号公報
  
• 感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-017698   出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
• 特公平7-500932号公報
  

審査官引用 (3件)

• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-156849   出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
• シリコン系カップリング剤及びその用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-314314   出願人：旭化成工業株式会社
• ポジ型感光性ポリアミドイミド樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-058679   出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社