特許
J-GLOBAL ID：200903089860500023

感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

発明者：
山崎 範幸

山崎 範幸 について

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佐々木 守

佐々木 守 について

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安斎 隆徳

安斎 隆徳 について

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藤枝 永敏

藤枝 永敏 について


出願人/特許権者：
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-017698
公開番号（公開出願番号）：特開2004-029712
出願日： 2003年01月27日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】本発明は、保存安定性に優れ、安定した感光特性が得られると共に良好な耐熱性を有し、感度が高く、パターン形状に優れる感光性樹脂組成物及び感光特性の変動を抑えることができ、解像度が高く、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法、信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(A)アルカリ水溶液可溶性重合体、(B)o-キノンジアジド化合物及び(C)有機酸を含有してなる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いたパターンの製造法及び電子部品。前記(A)成分が、一般式(I)【化1】(式中、R1は4価の有機基を示し、R2はカルボキシル基又はフェノール性水酸基を有する2価の有機基を示し、R3及びR4は各々独立に水素原子又は1価の有機基を示し、少なくとも一方は1価の有機基である)で示される繰り返し単位を有するポリアミド酸エステルである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ水溶液可溶性重合体、(B)o-キノンジアジド化合物及び(C)有機酸を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F7/037 ,  C08K5/09 ,  C08K5/28 ,  C08L79/04 ,  C08L101/00 ,  H01L21/027
FI (6件)：
G03F7/037 ,  C08K5/09 ,  C08K5/28 ,  C08L79/04 Z ,  C08L101/00 ,  H01L21/30 502R
Fターム (24件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB24 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J002CM021 ,  4J002CM031 ,  4J002CM041 ,  4J002EF037 ,  4J002EF087 ,  4J002EQ036 ,  4J002GP03
引用特許：
審査官引用 (21件)
  • 特開平4-284455
  • 特開平4-284455
  • ポジ型フオトレジスト組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-214193   出願人：富士写真フイルム株式会社
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