欠陥検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-058649
公開番号（公開出願番号）：特開平11-257937
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】シェーディング補正による欠陥検出方法において、表示領域の最外周部分で擬欠陥信号を発生しないようにして、表示領域全域にわたって正確な欠陥検出を可能とする方法を提供する。【解決手段】表示素子の微小欠陥を検出する欠陥検査方法において、表示素子の検査領域を撮像して入力画像を生成する入力画像生成工程と、この入力画像の平滑化フィルタ処理を行うことにより得られる平滑化入力画像の濃淡膨張処理を行って背景画像を生成する背景画像生成工程と、前記入力画像と前記背景画像とを比較する比較工程と、をこの順序で有するようにした。

請求項（抜粋）：

表示素子の微小欠陥を検出する欠陥検査方法であって、表示素子の検査領域を撮像して入力画像を生成する入力画像生成工程と、この入力画像の平滑化フィルタ処理を行うことにより得られる平滑化入力画像の濃淡膨張処理を行って背景画像を生成する背景画像生成工程と、前記入力画像と前記背景画像とを比較する比較工程と、をこの順序で有することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 , G01N 21/88 , H04N 7/18

FI (3件)：

G01B 11/30 G , G01N 21/88 Z , H04N 7/18 B

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平4-336384
特公昭59-002069
含網状体透明シート材の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-278493 出願人：鐘紡株式会社

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審査官引用 (2件)

特開平4-336384
特公昭59-002069

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