特許
J-GLOBAL ID：200903016764046764
研磨布表面調整機構、研磨布表面調整方法および研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220890
公開番号（公開出願番号）：特開平11-048124
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：
【要約】【課題】コンディショニングにより研磨の面内均一性が劣化するのを防ぎ、またコンディショニング時間を短縮する研磨布表面調整機構、研磨布表面調整方法及び研磨装置の提供。【解決手段】研磨テーブルを回転させ、円筒形あるいは円錐台形のコンディショナーを研磨布に押しつけながら回転させ、テーブルの回転に伴うテーブル半径方向の速度差を、コンディショナーの直径の差、あるいは、コンディショナーの位置によりコンディショナー回転速度を変化させることにより、テーブル半径方向のコンディショナー速度を変化させ、テーブルとコンディショナーの相対速度を位置によらず一定とすることができる。また、テーブル回転数によらずコンディショナー速度により相対速度を決定できるので、これを大きくすることにより、短時間で従来と同等のコンディショニングを行うことができる。
請求項（抜粋）：
中心軸を軸に回転し、その側面が研磨布の表面調整機能を持つ材料からなる円筒形もしくは円錐台形のローラー状コンディショナーと、前記ローラー状コンディショナーをその中心軸を軸に回転させる駆動部と、前記ローラー状コンディショナーを研磨布に押しつける押圧機構と、を含むことを特徴とする研磨布表面調整機構。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 321
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 321 E
