特許
J-GLOBAL ID：200903016766423034
膜厚測定方法及び試料作製方法、並びに、膜厚測定装置及び試料作製装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-109164
公開番号（公開出願番号）：特開2008-267895
出願日： 2007年04月18日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：
【課題】最小限の標準試料及び観察対象となる試料からそれぞれ得られる二次信号に関する最小限の検出結果から観察対象となる試料の膜厚を正確にかつ安定して測定することが可能な膜厚測定方法及び膜厚測定装置並びに試料作製方法及び試料作製装置を提供する。【解決手段】膜厚測定方法は、標準試料における電子ビームの加速電圧と電子ビームに対する二次信号の強度比との関係である標準データを作成する標準データ作成工程S1と、標準データの変化点の加速電圧を基準値として抽出する基準値抽出工程S2と、対象試料に電子ビームを照射して電子ビームの加速電圧と電子ビームに対する二次信号の強度比との関係である測定データを作成する測定データ作成工程S3と、測定データの変化点の加速電圧を特性値として抽出する特性値抽出工程S4と、基準値と特性値との比較に基づいて標準試料の膜厚に対して対象試料の膜厚を評価する評価工程S5とを備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
薄片に形成された対象試料の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、
所定の膜厚に形成された少なくとも一つの標準試料に対して厚さ方向に電子ビームを加速電圧を変化させて照射した場合における、照射した電子ビームの加速電圧と、照射した電子ビームに対する前記標準試料から放出される二次信号の強度比との関係である標準データを作成する標準データ作成工程と、
該標準データに形成された変化点を検出し、該変化点における加速電圧を基準値として抽出する基準値抽出工程と、
前記対象試料に対して厚さ方向に電子ビームを加速電圧を変化させて照射して前記対象試料から放出された二次信号の強度を検出し、照射した電子ビームの加速電圧と、照射した電子ビームに対する前記標準試料から放出される二次信号の強度比との関係である測定データを作成する測定データ作成工程と、
該測定データに形成された変化点を検出し、該変化点における加速電圧を特性値として抽出する特性値抽出工程と、
前記基準値と前記特性値との比較に基づいて、前記標準試料の膜厚に対して前記対象試料の膜厚を評価する評価工程とを備えることを特徴とする膜厚測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001BA06
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001DA10
, 2G001GA08
, 2G001GA12
, 2G001HA13
, 2G001JA17
, 2G001KA11
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA05
, 2G001QA01
, 5C033UU04
, 5C033UU08
, 5C033UU10
