特許
J-GLOBAL ID：200903016767909844

露光装置

発明者：
菅田 武史

菅田 武史 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032850
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231199
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：
【要約】【課題】 光源から発せられた紫外線を含む光を被露光体へ照射して被露光体を露光させる場合に、被露光体が熱線を吸収して温度上昇することを防止し、被露光体に焼き付けられる画像品質を向上させることができる装置を提供する。【手段】 ランプ1の発光管2を透明材料で形成し、ランプから被露光体へ至る光路上に、ランプから発せられた光の紫外線を通過させつつ熱線を遮断する熱線遮断フィルタ3を配設した。
請求項（抜粋）：
光源から発せられた紫外線を含む光を被露光体へ照射して被露光体を露光させる露光装置において、前記光源の発光管が紫外線を透過可能な透明材料で形成され、前記光源から前記被露光体へ至る光路上のいずれかの位置に、前記光源から発せられた光の紫外線を通過させつつ熱線を遮断する熱線遮断フィルタを配設したことを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 501 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28
FI (3件)：
G03F 7/20 501 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28
Fターム (11件)：
2H048AA16 ,  2H048AA19 ,  2H048BA03 ,  2H048BA04 ,  2H048CA12 ,  2H048CA18 ,  2H048FA12 ,  2H048GA19 ,  2H097CA06 ,  2H097CA12 ,  2H097EA03
引用特許：
審査官引用 (3件)

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