温度補償付きギャップ検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹沢荘一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373579
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183106
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】低温と高温とでは、温度に対する影響の傾向と度合いが異なるギャップセンサの測定制動を向上させる。【解決手段】センサ用コイル11と、コンデンサ4を備えた発振回路5と、検波整流回路6と、検出したギャップ信号Gを直線化するリニアライザー37とを具備するギャップ検出装置において、コイル温度検出回路12と、コイルの温度が低いとき、第1の電圧調整回路32で温度信号Tの変化率を変え、リニアライザー37の前段でギャップ信号Gに加える低温度域補正回路20と、コイル11の温度が高いとき、別の電圧調整回路41で温度信号Tの変化率を変え、リニアライザー37の後段でギャップ信号Gに加えるようにした高温度域補正回路21を備える。

請求項（抜粋）：

被検知電気材料に接近して設けられたセンサ用コイルと、そのコイルと共振させるコンデンサを備える発振回路と、発振回路の発振電圧を検出する検波整流回路と、検波整流回路の出力電圧に対する被検知電気材料とコイルの距離との関係を、直線的に対応させる直線化回路とを具備するギャップ検出装置において、コイルの電気抵抗を計りコイルの周囲温度を電気値に変換するコイル温度検出回路と、コイル温度検出回路の出力電圧が、被検知電気材料とコイルの距離を一定としたときの発振回路出力電圧対コイル温度の温度特性曲線の極点より低い温度を示すとき、コイル温度検出回路より得られる温度対出力電圧特性における温度対出力信号の変化率がほぼ一定した温度対応信号を、温度対出力信号の変化率を変更しうる電圧調整回路により、別の変化率をもって温度にほぼ直線的に対応する低温度域補正信号に変換し、その低温度域補正信号を、前記直線化回路の前段において、検波整流回路の出力電圧から得られるギャップ信号に加減するようにした低温度域補正回路とを設けてなることを特徴とする温度補償付きギャップ検出装置。

IPC (4件)：

G01B 7/14 , G01B 7/00 , G01D 5/20 , H03B 5/08

FI (4件)：

G01B 7/14 Z , G01B 7/00 E , G01D 5/20 K , H03B 5/08 C

Fターム (35件)：

2F063AA23 , 2F063AA50 , 2F063BD11 , 2F063CA10 , 2F063CB01 , 2F063DA01 , 2F063DA04 , 2F063DB03 , 2F063DC08 , 2F063DD02 , 2F063GA08 , 2F063LA05 , 2F063LA11 , 2F063LA23 , 2F063LA27 , 2F077AA13 , 2F077FF31 , 2F077TT11 , 2F077TT35 , 2F077UU07 , 5J081AA02 , 5J081BB04 , 5J081CC17 , 5J081EE02 , 5J081EE03 , 5J081FF07 , 5J081FF08 , 5J081FF11 , 5J081FF23 , 5J081HH02 , 5J081HH06 , 5J081KK03 , 5J081KK24 , 5J081MM01 , 5J081MM03

引用特許：

審査官引用 (5件)

渦電流式変位センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-075909 出願人：株式会社東京精密
特表昭58-500301
特表昭58-500301

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