パルス光測光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-030521
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227695
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】光検出器の光電変換面から放出される光電子の個数の平均値を高精度に推定してパルス光の光量を精度よく測定する。【解決手段】被測定光束が光検出器10に入射すると光電子が放出され増倍されて電流信号が出力される。この電流信号は、電荷有感型前置増幅器20および波形整形増幅器30からなる積分手段により電圧信号とされる。この電圧信号のピーク値は、積分手段が非飽和状態にある期間だけ、ピークホールド回路40から出力され、AD変換器50によりデジタル値に変換され、電圧信号の波高分布n(h) がヒストメモリ60により生成される。光電子数分布推定手段73により、波高分布n(h) と単一光電子事象波高分布とk-光電子事象波高分布(k=1,2,3,...)とに基づいて、被測定光束が光検出器10に入射して放出された光電子の個数分布が推定され、さらに被測定光束の光量が求められる。

請求項（抜粋）：

パルス信号に同期して発生するパルス状の被測定光束の光量を測定するパルス光測光装置であって、入射した前記被測定光束の光量に応じた光電子数分布に従った個数の光電子を放出し、前記光電子を増倍して電流信号を出力する光検出器と、前記電流信号を積分して電圧信号に変換する積分手段と、前記電圧信号の波高分布を生成する波高分布生成手段と、前記パルス信号のパルス数を計数するパルス計数手段と、前記積分手段が飽和状態にあるか否かを判定し、飽和状態にあると判定したときには前記パルス計数手段および前記波高分布生成手段それぞれの動作を禁止するゲート手段と、前記光検出器で放出される光電子が1個の場合に前記波高分布生成手段で生成される波高分布を単一光電子事象波高分布として獲得する単一光電子事象波高分布生成手段と、前記光検出器で放出される光電子の個数kが2以上かつ所定数以下のそれぞれの場合におけるk-光電子事象波高分布を、前記単一光電子事象波高分布に基づいて漸化的にコンボリューション計算によって算出するk-光電子事象波高分布生成手段と、前記被測定光束が前記光検出器に入射して前記波高分布生成手段で生成された波高分布と前記単一光電子事象波高分布と前記光電子の個数kそれぞれの場合における前記k-光電子事象波高分布と前記パルス計数手段による計数結果とに基づいて、前記被測定光束が前記光検出器に入射した場合の前記光電子数分布を推定することによって前記被測定光束の光量を求める光電子数分布推定手段と、を備えることを特徴とするパルス光測光装置。

IPC (2件)：

G01J 3/443 , G01N 21/64

FI (2件)：

G01J 3/443 , G01N 21/64 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭64-009235
特開昭55-113441
特開平3-197893

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