特許

J-GLOBAL ID：200903016853657173

狭帯域化レーザの波面制御装置

発明者： 有我 達也 ,  五十嵐 徹 ,  田中 宏和
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-077623
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274632
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】波面制御を行うことで要求されるビームサイズ、レーザ出力効率、スペクトル線幅の仕様を全て常に満足することができるようにして、露光品質、加工品質を向上させる。【解決手段】レーザ媒質を放電励起することによってレーザ光を発生させるレーザと、前記レーザからのレーザ光を狭帯域化する狭帯域化素子および入射されたレーザ光の波面を補正して出射する波面調整手段を有する狭帯域化モジュール6と、前記励起強度を制御することでレーザ出力が一定になるようにパワーロック制御するパワーロック制御手段40とを具えるようにした狭帯域化レーザ装置において、レーザ光のスペクトル線幅を検出する線幅検出手段15と、レーザ光のビームサイズを検出するビームサイズ検出手段14と、前記励起強度を検出する励起強度検出手段40と、前記検出されたスペクトル線幅、ビームサイズおよび励起強度が各所定の仕様範囲内に入るように前記波面調整手段を制御する制御手段40とを備えるようにしている。

請求項（抜粋）：

レーザ媒質を放電励起することによってレーザ光を発生させるレーザと、前記レーザからのレーザ光を狭帯域化する狭帯域化素子および入射されたレーザ光の波面を補正して出射する波面調整手段を有する狭帯域化モジュールと、前記励起強度を制御することでレーザ出力が一定になるようにパワーロック制御するパワーロック制御手段とを具えるようにした狭帯域化レーザ装置において、レーザ光のスペクトル線幅を検出する線幅検出手段と、レーザ光のビームサイズを検出するビームサイズ検出手段と、前記励起強度を検出する励起強度検出手段と、前記検出されたスペクトル線幅、ビームサイズおよび励起強度が各所定の仕様範囲内に入るように前記波面調整手段を制御する制御手段と、を備えるようにしたことを特徴とする狭帯域化レーザの波面制御装置。

IPC (3件)：

H01S 3/137 ,  H01S 3/134 ,  H01S 3/225

FI (3件)：

H01S 3/137 ,  H01S 3/134 ,  H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 狭帯域化レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-119631   出願人：株式会社小松製作所