狭帯域化レーザ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-119631
公開番号（公開出願番号）：特開平10-313143
出願日： 1997年05月09日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】狭くかつ安定したスペクトル線幅のレーザ光を得ることができる狭帯域化レーザ装置を提供することを目的とする。【解決手段】レーザ媒質から発生されたレーザ光を狭帯域化素子によって狭帯域化して出力する狭帯域化モジュールを有する狭帯域化レーザ装置において、入射されたレーザ光の波面を補正して出射する波面補正手段10を前記狭帯域化モジュール6内に備えるようにしている。

請求項（抜粋）：

レーザ媒質から発生されたレーザ光を狭帯域化素子によって狭帯域化して出力する狭帯域化モジュールを有する狭帯域化レーザ装置において、入射されたレーザ光の波面を補正して出射する波面補正手段を前記狭帯域化モジュール内に備えるようにしたことを特徴とする狭帯域化レーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/105 , H01S 3/139

FI (2件)：

H01S 3/105 , H01S 3/139

引用特許：

審査官引用 (5件)

ジグザグスラブレーザの収差制御
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-157211 出願人：ティアールダブリューインコーポレイテッド
特開平1-128580
投影露光装置及びデバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-090302 出願人：キヤノン株式会社

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