ポリエステル化合物およびそれを用いたレジスト材料

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：花田吉秋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-181745
公開番号（公開出願番号）：特開2007-002045
出願日： 2005年06月22日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：

【課題】高いエッチング耐性、高い溶剤溶解性、基板への高い密着性を併せ持ったポリマー主鎖に脂肪族環状構造を有する新規なポリエステル化合物、それを用いたレジスト材料、及びパターン形成方法を提供する。【解決手段】ジオール化合物とビシクロ[2.2.2]オクタン-2,3:5,6-テトラカルボン酸無水物の重縮合反応から誘導される新規な主鎖環状型ポリエステル化合物、および、この主鎖環状型ポリエステル化合物を用いることによるレジスト材料及びそれを用いた微細パターン形成方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

一般式(1)

IPC (6件)：

C08G 63/40 , G03F 7/032 , G03F 7/039 , G03F 7/11 , H01L 21/027 , C08G 63/91

FI (7件)：

C08G63/40 , G03F7/032 502 , G03F7/039 601 , G03F7/11 501 , H01L21/30 502R , H01L21/30 575 , C08G63/91

Fターム (34件)：

2H025AA01 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB20 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025DA02 , 2H025FA03 , 4J029AA01 , 4J029AB01 , 4J029AC01 , 4J029AE11 , 4J029AE18 , 4J029BA05 , 4J029BD07A , 4J029BD07C , 4J029BG17Y , 4J029BH02 , 4J029DB01 , 4J029FC14 , 4J029FC41 , 4J029FC44 , 4J029HA01 , 4J029HB06 , 4J029KH01 , 5F046JA22

引用特許：

審査官引用 (5件)

ポリエステル重合体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-321044 出願人：東レ株式会社
感放射線性組成物およびカラーフィルター用感放射線性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-081253 出願人：ジェイエスアール株式会社
積層成形体
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-253033 出願人：三菱化学株式会社

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